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試験機器・装置
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バーイン装置
モニターバーンイン装置(メモリー/ ロジック)
本装置は、メモリ及びロジック混在型メモリICに対してダイナミックバーンインを行うもので、ALPGを持つことで広範囲なデバイスに対応可能。LSI製造ライン後工程で大型テストボードによる大量生産に最適。
・恒温槽(8スロット×4ラック)/台
・試験ボードサイズ:313mm×590mm
・最大動作周波数:2MHz程度
・クロック分解能:50ns程度
・ドライバ本数:38ch
・VIH(VH)範囲:+0.0V~7.0Vバーンイン装置
本装置は、ロジック製品のモニターバーンインを行うためのもので、Vectorメモリからロジック用パターンを出力し、期待値によるPass/Fail判定が可能。
・恒温槽(12スロット×4ラック)/台
・試験ボードサイズ:450mm×570mm
・最大動作周波数:10MHz程度
・クロック分解能:10ns程度
・ドライバチャンネル数:56ch
・コンパレータチャンネル数:124ch
・VIH(VH)範囲:+0.8V~10.0Vバーインボード設計・製作/各種プリント基板設計製作/冶具設計製作
基板や治工具類についても、ご要望に沿った設計製作を行い、部材集荷、組立、配線作業を含めた一環製作を行っております。
評価装置
アルミマイグレーション評価装置(LSIの配線材や酸化膜の評価)
LSIの高集積化が進むなかでマイグレーション現象・ゲート酸化膜の経時破壊などの問題がクローズアップされてきました。本装置は、そうしたエレクトロマイグレーションの評価、解析を支援する事を目的とした装置です。
・恒温槽(2槽分割方式:5スロット×2槽)/台
・試験ボードサイズ:340mm×472mm
・試験温度設定:RT+30℃~250℃
・定電流回路数:1ボード/20回路/5ボード×2槽=200回路
・電流出力範囲:+1mA~50mA、+10mA~500mA、+100mA~3000mAの3レンジ